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一大堆记者们扛着长枪短炮追在成毅后面,不停地提出各种奇葩的问题。
成毅什么话都没说,在一众助理的护送下钻进了那辆停在台阶下的黑色奔驰S600。
面对这些奇葩的问题,能不吭声尽量不吭声。...
黄杰站在无尘车间中央,目光扫过一排排正在调试的光刻机原型机。空气里浮动着微不可察的臭氧味,那是高能紫外光源启动前的征兆。克劳斯正蹲在第三号平台旁,用放大镜检查一片12英寸硅基底上的对准标记——那标记细如发丝,却必须精确到纳米级。
“克劳斯教授,”黄杰走近,声音压得很低,“上周送来的那批石英镜坯,应力测试结果出来了。”
老头没抬头,只把放大镜换了个角度:“裂纹在C区第七环,深度三点二微米,不是材料问题。”他顿了顿,终于抬眼,灰蓝色瞳孔里映着冷白灯光,“是你们的搬运方式不对。每片镜坯都该用磁浮托盘,而不是气动夹具。震动会诱发亚表面缺陷。”
黄杰点头,从口袋里取出一张折叠的A4纸,展开——上面是手绘的运输流程图,密密麻麻标着十七处节点,红笔圈出三处被划掉的环节。“已经改了。今天下午,第一批磁浮托盘就从深圳运抵。阮工,你安排人对接。”
阮英卓立刻应声,转身时瞥见角落里一台正在做真空检漏的EUV光源舱,舱门缝隙渗出淡紫色辉光。“董主任,‘萤火’一号今天凌晨完成了第287次脉冲稳定性测试,平均偏移值0.87皮秒,比设计阈值低13%。”
“很好。”黄杰走向光源舱,指尖隔着防静电手套轻触外壳,“但我要的是0.3皮秒以内。告诉光学组,下次测试前,把环境温控精度再提一级——不是调空调,是给整个舱体加装主动式液氮循环层。”
话音未落,车间西侧忽然响起一阵刺耳蜂鸣。所有屏幕瞬间跳成红色警告界面:【主激光器腔体温度异常】【真空度跌破10??帕】【离子束偏转角失锁】。
克劳斯猛地站起:“谁碰了冷却塔的手动阀?”
没人应答。所有人都下意识看向入口方向——那里空荡荡的,只有自动门无声开合。
黄杰却突然笑了。他掏出手机,拨通一个号码,等对方接起后只说了一句话:“老张,船厂东码头第三号吊机,现在、立刻、把刚卸货的那箱‘海盐’原封不动运回保税仓。”
电话那头沉默两秒,传来一声短促的呼哨:“收到。那箱盐……腌得够咸。”
挂断电话,黄杰拍了拍克劳斯的肩:“德国人的精密,配中国人的粗粝,才压得住这台机器的脾气。您信我一次——那箱‘盐’里,有咱们缺的最后一种稀土掺杂剂。”
老头眯起眼,喉结动了动,终究没说话,只是弯腰重新拧紧光源舱底部一颗松动的六角螺栓。金属与金属咬合的咔哒声,在骤然寂静的车间里格外清晰。
这时,阮英卓快步走来,递上平板电脑。屏幕上是实时监控画面:天口港外海,一艘挂着巴拿马旗的散货船正缓缓靠泊。船名“海葵号”,船籍资料显示其为新加坡某航运公司旗下,但航迹图上显示它过去三个月七次停靠鹿特丹港——而鹿特丹正是恩泽资本欧洲采购中心所在地。
“海关那边放行了?”黄杰问。
“按‘进口船舶维修配件’申报,走绿色通道。”阮英卓压低声音,“但验货员发现集装箱内衬有新鲜刮痕,像是……刚拆过包装。”
黄杰嘴角微扬:“让他们刮。刮得越深,越没人信里面装的是船用轴承。”他转身走向车间最深处那扇嵌在混凝土墙里的钛合金门,“带我去看看‘织女’。”
钛合金门无声滑开,露出一条向下倾斜的螺旋阶梯。阶梯两侧墙壁嵌着幽蓝LED灯带,每级台阶边缘都刻着一行小字——
【第一级:此处禁用手机】
【第五级:此处禁用任何含铁金属】
【第十级:此处禁用呼吸频率超过18次/分钟者】
黄杰拾级而下,衣摆拂过“第十三级:此处禁用一切已知逻辑”时,脚步微微一顿。身后阮英卓立刻止步,将平板电脑交予守在门口的安保人员。
阶梯尽头是一间椭圆形密室,穹顶布满蜂窝状吸音孔。中央悬浮着一台直径三米的环形设备,表面覆盖着数十万枚指甲盖大小的陶瓷振子,此刻正以肉眼难辨的频率高频震颤。
这就是“织女”——全球首台采用声学全息干涉技术的极紫外光刻掩模检测系统。它不发射光线,而是用超声波在真空中“触摸”掩模表面的每一个原子凸起。
“昨天凌晨两点十七分,”密室操作台前,一位扎着丸子头的年轻女工程师转过身,额角还贴着降温凝胶贴,“它第一次自己修正了第147号振子的相位偏差。”
黄杰走到她身边:“自主学习算法跑通了?”

